半導体検査

半導体検査の製造工程における重要な検査の一つとしてシリコンウエハの外観検査があります。ウエハ表面の異物やキズなどの欠陥を検出する工程です。
現在は20nm以下の欠陥を検出できる高感度の検出性能が要求されていますが、この高感度化に極めて有効な手法がレーザー照射です。
ウエハ表面の全領域をレーザー光で高速かつ高精度でスキャンします。レーザー光が異物やキズに当たると、光が散乱し、この散乱光を検出することで欠陥の有無を判定します。

今後もより小さなスケールでの検査能力が益々重要になってきますが、この検査において最も重要なファクターはビームの帯域幅とポインティングの安定性が高いことです。これらのパラメータのいずれかが変化すると正確な検査は行えません。従ってシリコンウエハ検査には、安定した信頼性の高いレーザーが選ばれることになります。

レイチャーシステムズでは、英国Laser Quantum社のaxiomシリーズやfinesseシリーズなど、この用途に関しても多くの納入実績があります。

半導体検査で使用されるレーザー

英国最大手のレーザーメーカーであるNovanta（Laser Quantum）社は、世界中の研究機関における理化学用途や生産装置組み込み用といった工業用途など、幅広い分野にその製品が採用されています。全てのモデルがインターネット回線を介してエンジニアがリアルで診断/調整を行うことが出来る機能を有しており、非常にメンテナンス性に優れています。

axiomシリーズ　

axiomレーザーシステムは660nm(Red)としては業界最高出力である6W、532nm(Green)では最大12W発振を可能とする高出力・高性能DPSS・CW(連続発振)レーザーシステムです。
新しい共振器設計により、高出力レーザーでありながら全てのオプティクスをレーザーヘッド内に組み込んでいます。その為、従来のレーザーシステムで必須だったレーザーヘッドとレーザー電源間に光ファイバーの伝送ケーブルを必要とせず、レーザーヘッドとレーザー電源間の接続をすべて脱着可能になっています。よって、高出力レーザーながら、装置などへの設置、組込み、移設作業を容易に行うことが可能です。

finesseシリーズ　

最大16Wと高出力、高安定性でありながらコンパクトなレーザーヘッドサイズの為、半導体検査だけでなく、
PIV（Particle Image Velocimetry/粒子画像流速測定法）、Ti:サファイアレーザー励起用光源、防衛産業、CEP(carrier envelopephase)や周波数コム用途等の様々な用途で使用され、また多くの装置に組み込まれ世界上でご使用頂いています。

半導体検査には、ご要望の出力に応じてopusシリーズやgemシリーズもご提案いたします。

米国Photonics Industries 社は、イントラキャビティ高調波固体レーザーの先駆者として、高出力・高調波のレーザーシステムとアプリケーションの開発に取り組むメーカーです。お客様の幅広いニーズに応えることができ、異なるさまざまな分野の用途に使用することができるレーザーシステムを製造・設計し、提供しています。

DPシリーズ

DPシリーズは空冷、<8nsの短パルス幅、最大パルスエネルギー20mJ＠1053nmを発振するコンパクト、高パルスエネルギー・ナノ秒DPSSレーザーシステムです。

英国Litron Lasers社は、レーザーを作る行程における設計・製造（デジタル・アナログ電子機器、光学系、ソフトウェア）のほとんどを第三者に任せずに社内で行っています。高い周波数発振可能なレーザーシステム、また高パルスエネルギーレーザーシステムの製造を得意としています。

Plasmaシリーズ

LD励起方式を採用した、高パルスエネルギーレーザーシステムです。
最大パルスエネルギー 1J、最大繰返し200Hzで、パルス間安定性も0.2％RMSを実現するレーザーです。

「半導体検査」に関する資料

• ホワイトペーパー：ウエハー表面分析～レーザーソリューションによる欠陥の検出～

レーザー詳細仕様のご説明、お客様のご用途/ニーズにあわせてレーザーシステムのご提案を致しますので、お電話(03-3351-0717)もしくはお問合せフォームよりお気軽にお問合せください。