ITOパターニング

ITOパターニングとは、液晶ディスプレイ(LCD)、プラズマディスプレイ(PDP)、有機ELディスプレイ(OLED)やタッチパネルなどに使用されるITO(Indium Tin Oxide)と呼ばれる透明導電膜を一定の型の回路に成形することです。

ITO膜の回路成形は、従来ウェットエッチングという方法で行われてきたが、多くの工程が必要なこと、製造設備の大型化、コスト面、廃液処理などの環境面の点からもドライプロセスの要望が強くありました。

レーザーによるエッチング法はこのドライプロセスとして、ダイレクトにITOのパターニングを加工を行うことができ、液晶ディスプレイ、タッチパネルなどのディスプレイ製作工程において必要不可欠な技術となりました。また近年では下地へのダメージレス加工としてピコ秒レーザーも注目されています。

レーザーによるITOパターニングの利点

・環境にやさしい
・ランニングコストの低減
・多品種生産(様々なパターニング)に対応

ITOパターニングにおすすめのレーザー

米国Photonics Industries 社は、イントラキャビティ高調波固体レーザーの先駆者として、高出力・高調波のレーザーシステムとアプリケーションの開発に取り組むメーカーです。お客様の幅広いニーズに応えることができ、異なるさまざまな分野の用途に使用することができるレーザーシステムを製造・設計し、提供しています。

DXシリーズ

DXレーザーシステムは共振器内に高調波結晶を配置することで高い波長変換効率と結晶の長寿命化を実現するイントラキャビティーデザイン（特許取得済）を採用している、最大100W＠532nm、最大50W＠355nmを発振する高出力・コンパクト、ナノ秒DPSSレーザーシステムです。

高出力レーザーながら、レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン設計を実現し、同クラスの出力を発振するナノ秒レーザーの中で最小クラスのサイズとなっています。
レーザーシステム構成がシンプルになり、設置面積が小さいため装置への組込みにも最適です。

RXシリーズ

RXレーザーシステムは、特許取得済みのpulse selection技術により世界中で数百台の納入実績がある産業用ピコ秒レーザーRGシリーズから誕生した新型コンパクト・ピコ秒レーザーシステム（短パルスレーザーシステム）です。

レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン構造により、同クラスのピコ秒レーザの中では最小、最軽量な点が特長です。
高いパルスエネルギーを発振することが可能で、ビームを分割して複数のワークステーションに同時に供給することができるため、製造プロセス効率の最適化が可能となり、最高の生産性とコストパフォーマンスを実現します。24時間/365日運転に使用可能な安定性を持ち、様々な微細加工（マイクロマシニング）生産ラインで使用される装置組み込み用レーザーに最適です。

レーザー詳細仕様のご説明、お客様のご用途/ニーズにあわせてレーザーシステムや加工装置のご提案を致しますので、お電話(03-3351-0717)もしくはお問合せフォームよりお気軽にお問合せください。