最大160W 産業用ピコ秒レーザー
1064nm532nm355nmRXレーザーシステムは、特許取得済みのpulse selection技術により世界中で数百台の納入実績がある産業用ピコ秒レーザーRGシリーズから誕生した新型コンパクト・ピコ秒レーザーシステム（短パルスレーザーシステム）です。
- 高パルスエネルギー 最大> 900 μJ
- 短いパルス幅 ＜10ps 超短パルスレーザー
- 繰返し周波数 最大2MHz(オプション最大15MHz)
- 高いビーム品質 TEM00モード
- クラス最小サイズ！
- 幅広い波長域をカバー 1064nm(IR)、532nm(Green)、355nm(UV)
- DC電源駆動のため、機器組込みに最適
- 過酷な環境にも耐えうる堅牢性
- ファイバー結合式LD採用で現場での簡単メンテナンスを実現！
- 加工材質：ガラス、ステンレス、テフロン、アクリル樹脂、カプトン、鋼、アルミナセラミックス、セラミック、マグネシウム、銅、有機EL(OLED) など
DESCRIPTION
製品概要
RXシリーズ概要
RXレーザーシステムは、レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン構造により、同クラスのピコ秒レーザの中では最小、最軽量な点が特長です。
高いパルスエネルギーを発振することが可能で、ビームを分割して複数のワークステーションに同時に供給することができるため、製造プロセス効率の最適化が可能となり、最高の生産性とコストパフォーマンスを実現します。24時間/365日運転に使用可能な安定性を持ち、様々な微細加工（マイクロマシニング）生産ラインで使用される装置組み込み用レーザーに最適です。
1064nm(IR)波長モデルは最大160W、532nm(グリーン)波長モデルは最大100W、355nm(UV)波長モデルは最大50Wまでラインナップしています。
以下のようなレーザー加工において重要となる様々な加工条件に対応することが出来るパルス制御機能等を持っています。
トータルパルスコントロール機能：
・バーストモード
・パルスエネルギーコントロール（PEC)機能
・パルスオンデマンド(POD)機能
今までナノ秒レーザーでは難しかった熱影響の少ない加工を可能とし、金属への彫刻やマーキング、LEDダイシング、薄膜除去、難削材料、脆性材料、ガラス、サファイア、セラミックス、有機EL(OLED)、液晶ポリマー(LCP)の微細加工や切削加工や穴あけが可能です。
かつ、3D LIDARなどのアプリケーションに適した性能をもち、かつコンパクトなレーザーシステムのため装置組込みにも最適なレーザーシステムです。
RXシリーズラインナップ
| モデル名 | RX 1064-10 | RX 1064-40 | RX 1064-100 | RX 1064-160 |
|---|---|---|---|---|
| 波長 | 1064nm | |||
| 平均出力 | 10W | 40W | 100W | 160W |
| 最大パルスエネルギー | > 50 μJ | > 300 μJ | > 600 μJ | > 900 μJ |
| ビーム拡がり角 | <2 mrad | |||
| パルス幅 | ~10 ps | |||
| モデル名 | RX 532-5 | RX 532-25 | RX 532-70 | RX3 532-100 |
|---|---|---|---|---|
| 波長 | 532nm | |||
| 平均出力 | 5W | 25W | 70W | 100W |
| 最大パルスエネルギー | > 50 μJ | > 125 μJ | > 350 μJ | > 500 μJ |
| ビーム拡がり角 | <1.5 mrad | |||
| パルス幅 | ~7 ps | |||
| モデル名 | RX 355-3 | RX 355-10 | RX 355-28 | RX 355-50 |
|---|---|---|---|---|
| 波長 | 355nm | |||
| 平均出力 | 3W | 10W | 28W | 50W |
| 最大パルスエネルギー | > 25 μJ | > 50 μJ | > 70 μJ | |
| ビーム拡がり角 | ≤ 1 .5 mrad | |||
| パルス幅 | ~7 ps | |||
加工事例
無アルカリガラスのカッティング
| 加工方法 | 微細加工(マイクロマシニング)穴あけ、切断、スクライビング、マーキング など |
| 加工材質 | ガラス、ステンレス、テフロン、アクリル樹脂、カプトン、鋼、アルミナセラミックス、セラミック、マグネシウム、銅、有機EL(OLED) など |
上記以外の加工方法、加工材質に関してもぜひまずはお問合せください。
主要スペック比較表
| RXシリーズ | A社 | B社 | C社 | D社 | |
| Power | 160W (IR) 100W (Green) 50W (UV) |
100W (IR) 50W (Green) 30W (UV) |
50W (IR) 50W (UV) |
45W (IR) 20W (Green) 10W (UV) |
80W (IR) 40W (Green) 20W (UV) |
| パルス エネルギー |
<900μJ (Option：<1mJ) |
＜250uJ (IR) ＜125uJ (Green) ＜75uJ (UV) |
＜200μJ (IR) ＜40μJ (UV) |
＜125uJ (IR) ＜60uJ (Green) ＜30uJ (UV) |
＜200uJ (IR) ＜100uJ (Green) ＜75uJ (UV) |
| パルス幅 | <10ps | <15ps | <20ps (IR) <12ps (UV) |
<7ps | <10ps |
| 長時間安定性 | ≤1%rms | <1%rms | <2%rms | <3%rms | <1%rms |
| Pulse to Pulse Stability |
<1%rms (IR) <2%rms (Green) <2%rms (UV) |
<1%rms (IR) <2%rms (Green) <2%rms (UV) |
<1.5%rms (IR) <2%rms (UV) |
<2%rms | <1%rms (IR) <2%rms (Green) <2.5%rms (UV) |
| M2 | <1.2 | <1.3 | <1.3 | <1.3 | <1.3 |
| Pointing Stability |
<20μrad | <50μrad | <25μrad | <50μrad | <50μrad |
| レーザーヘッド 寸法 |
50.8×11.43×20.32 |
780×600×245 | 750×308×191 (IR) 889×308×194 (UV) |
585×381×179 | 396×173×755 (IR) 396×173×1000(UV) |
| 電源ユニット 寸法 |
不要 | 483×192×133 | 538×458×40 | 482×432×178 | 553×1019×852 |
RXシリーズ小型化の歴史（クラス最小サイズ！）
APPLICATION
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CASES
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ラインナップを見る（2）
| モデル名 | 平均出力 | ビーム径 | モード | ビーム拡がり角 | 出力安定性 | 偏光比 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| torus 532 | 250mW、500mW、750mW | 1.7mm±0.2mm | TEM00 - M2 < 1.1 | <0.45 mrad | <1.0% rms | >100:1 |
| torus 660 | 150mW、200mW | 1.7mm±0.2mm | TEM00 - M2 < 1.1 | <0.55 mrad | <1.0% rms | >100:1 |