一体型チューナブルレーザー
自社製DPSSレーザーを励起光源として使用したOPOレーザーやTi:サファイアレーザーシステムです。OPOレーザーは高パルスエネルギーレーザーを励起光源としてmJクラスの高パルスエネルギーを発振することが最大の特徴です。Ti:サファイアレーザーは高繰返し、狭線幅(1-3GHz)が特徴の波長可変レーザーシステムです。
DUVレーザーのうち、193~212nmの製品一覧です(深紫外レーザー, FHG)。
一体型チューナブルレーザー
自社製DPSSレーザーを励起光源として使用したOPOレーザーやTi:サファイアレーザーシステムです。OPOレーザーは高パルスエネルギーレーザーを励起光源としてmJクラスの高パルスエネルギーを発振することが最大の特徴です。Ti:サファイアレーザーは高繰返し、狭線幅(1-3GHz)が特徴の波長可変レーザーシステムです。